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超純水是在半導(dǎo)體制造工藝中廣泛使用的一種特殊水源。在半導(dǎo)體制造過程中，超純水的質(zhì)量對于保證產(chǎn)品質(zhì)量和工藝穩(wěn)定性至關(guān)重要。超純水的質(zhì)量參數(shù)之一，pH值，直接影響了超純水的電離度以及其在工藝過程中的各種化學(xué)反應(yīng)。
超純水pH值對半導(dǎo)體制造工藝中的晶圓洗凈過程、化學(xué)腐蝕過程以及電離度等方面有著重要影響。合理控制超純水pH值，可以提高工藝的可控性、產(chǎn)品的一致性和工藝的穩(wěn)定性，從而保證半導(dǎo)體產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。
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